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浅谈微机电系统与生物芯片

MEMS概念MEMS技术特点MEMS发展前景生物芯片起源与发展生物芯片种类生物芯片制备生物芯片发展前景
  MEMS是指集微型传感器、微型执行器、信号处理和控制电路、接口电路、通信系统以及电源于一体微型机电系统.
MEMS概念
非纯电路装置

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