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        工业检测传感器技术远远不如国外

   我国压力传感器市场主要是工业自动化控制领域，和汽车领域。据罗百辉介
绍，在工控领域里目前我国绝大部份采用扩散硅压力传感器、应变片式压力传感器和
溅射薄膜压力传感器，而国内厂家生产面广量大的就是扩散硅压力传感器。在国内，
西安市是我国笫二个五年计划里重点发展压力系列传感器的重要城市，陕西宝鸡市在
省会城市西安的带动下，由原秦岭晶体管厂进行技术改造，和美国霍尼伟尔公司合作
成立麦克传感器公司，为我国扩散硅压力传感器生产开创了先河。但 MEMS 技术和前
道硅片制造技术仍控制在外国厂家手里。
  进入九十年代,国际上 MEMS 技术有了长足的发展，硅片定向微机电加工精度和
成品率不断提高，加上离子注入技术的发展使扩散硅压力传感器从技术上有了可靠保
证，成本也有所下降。在许多应用领域里，扩散硅压力传感器还必须与充油蕊体配套,
这又使它的售价大幅度上升。这些原因无疑在一定程度上促进了国内压力传感器市场
的兴盛。
  在国外，压阻式陶瓷压力传感器以其高可靠性，抗腐蚀、优良的线性精度和低
成本开始逐渐替代扩散硅压力传感 ...

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关键词：传感器 压力传感器 自动化控制 工业自动化 MEMS