压电悬臂梁探针中压电电荷信号的检测论文开题报告教学教材

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本科毕
报告人:徐彪指导
压电悬臂梁探
可行性研究及基本工作思路论文工作
可行性研
　1.可行性研究:      压电微悬臂梁是一种利用压电元件的逆压电效应驱动微悬臂梁使其振动,并利用压电元件的压电效应来检测梁的变形量的集成微驱动器和微传感器。      微悬臂梁是一种在微电子机械系统(MEMS)

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关键词：检测论文 开题报告 可行性研究 MEMS 可行性