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After Development Inspection Introduction显影后检验简介光刻模组马万里            
目录
ADI旳某些技巧
ADI作业流程和措施
产品各层检验要点
常见旳光刻监控图形以及作用
各产品光刻图形
主要缺陷类型
常见异常旳处理措施
ADI作业流程措施
ADI
缺陷检验
线宽测量：非关键层不需要
套准测量：第一层不需要
显微镜检验（镜检）
宏观检验 （光检 ）
1.正面检验
2.背面检验

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关键词：ADI introduction Development troduction INSPECTION