氟化物气体应用：二氟硅烷

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氟化物气体应用：二氟硅烷
1.别名·英文名二氟二氢硅；
Difluorosilane
．2.用途含氟非晶硅膜、制造非晶硅的原料气。
3.理化性质
分子量：68.
10熔点：-122.0℃
沸点(101.325kPa)
：-77.8℃
气体密度：2.
35kg/m3
熔化热：6.
148kJ/kg
气化热：29
2.092kJ/kg
临界温度：34
℃蒸气压(-124.3℃)
：2.666kPa
(-98.3℃)
：26.
664 kPa
(-87.8℃)
：53.
329kPa
比热容(气体，25℃)
：749.443J/(kg·K)
二氟硅烷在常温常压下为具备
腐蚀性的可燃性有毒气体。长时间放置时缓慢分解，但比
SiHF3
分解速度慢。
2SiH2F2→SiH4+SiF4
在水或苛性苏打的水溶液中水解产生氢气。
与乙醇、氨和胺反应。
参见六氟化二硅。

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关键词：氟化物 Lane KPA 非晶硅 flu