气溶胶直写实验研究

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1 论文标题：气溶胶直写实验研究

2 作者信息：赵二晶, 李文超, 钟海天：北京印刷学院机电工程学院，北京；蒋小珊*：北京印刷学院机电工程学院，北京；北京印刷学院数字化印刷装备北京市重点实验室，北京；北京印刷学院印刷装备北京市高等学校工程研究中心，北京

3 出处和链接：赵二晶, 蒋小珊, 李文超, 钟海天. 气溶胶直写实验研究[J]. 机械工程与技术, 2025, 14(6): 707-714. https://doi.org/10.12677/met.2025.146074

4 摘要：气溶胶直写技术(Aerosol Jet Direct Writing)作为一种高分辨率非接触式图案沉积方法，在柔性电子与微纳器件制造中展现出巨大潜力。然而，直写分辨率与图案质量在很大程度上受限于气溶胶射流在喷头内聚焦行为的影响，该过程中的多物理场耦合机制尚不明确。本文通过自主搭建气溶胶直写实验平台，系统研究了载气与鞘气流速对直写形貌与分辨率的定量影响。研究结果表明，载气和鞘气是主导射流聚焦效果的关键因素。载气流速为0.5 mL/min时，将鞘气流速从0.5 mL/min提升至0.7 mL/min，可获得最优的聚焦效果，此时聚焦比为1.3，聚焦率为40%，且边缘清晰度得到改善。该研究为优化气溶胶直写工艺参数提供了明确的实验依据，对推进该技术在微细图形制造中的应用具有重要指导意义。

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关键词：气溶胶 writing 北京印刷学院 机电工程学院 Direct