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电子气体是电子工业的“血液”与“粮食”，是集成电路制造、半导体显示、半导体器件制造过程中不可缺少的关键材料。电子特气是我国集成电路产业发展的“卡脖子”环节，当前集成电路电子特气整体国产化率不足25%，高端产品严重依赖进口，先进制程的关键气体材料几乎全部由海外巨头垄断。
一、电子气体产品概述
电子气体是指纯度、杂质含量等技术指标符合特定要求，可应用于集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏等半导体及电子产品生产领域的气体，其中集成电路制造是电子气体最大的应用领域，占电子气体总需求的60%以上。电子气体纯度通常要求达到5N（99.999%）及以上，用于先进集成电路制造的气体纯度要求通常在6（N99.9999%）甚至更高，并且需严格控制颗粒、金属离子、水分、氧气等杂质含量，通常要求杂质含量低于ppm（10⁻⁶）、ppb（10⁻⁹）甚至ppt（10⁻¹²）级别。任何微小的纯净度差异都可能导致产品性能下降甚至整条产线报废。
京公网安备 11010802022788号
