基于谐振模式的三维纳米测头触发方法研究

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基于谐振模式的三维纳米测头触发方法研究
纳米测量技术是纳米科学技术的基础学科之一,超精加工和超微加工进入纳米技术的新时代,MEMS、超精密光学器件等的特征尺寸微型化,对这些微纳米结构的真三维测量要求达到纳米、亚纳米量级,测量力达到微牛甚至纳牛量级。目前在数百微米至数毫米尺度间的真三维测量取得了一定进展,但还没有成熟的技术。
而纳米触发定位是实现纳米测量的关键,三维纳米触发定位技术作为微纳米三维技术的核心,是实现微器件等真三维纳米测量的基础,也是目前国内外微纳米三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine, CMM)研究中的难点之一。针对微纳米CMM的研究需求和技术瓶颈,本文在对国内外微纳米CMM研究现状和进展分析总结的基础上,提出三维纳米维谐振触发方法,基于该方法研制了三维纳米谐振触发测头及三维纳米谐振触发测量与定位系统,可实现对微内孔试样的高分辨力三维触发测量。
完成的主要研究工作和成果总结如下：1)三维纳米谐振触发测头触发方法及工作机理研究。基于界面力学理论分析了三维谐振触发测头的动态接触机理,分别构建了X(Y)、Z向测球-试样表面纳米接触相互作用的力学模 ...

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关键词：方法研究 coordinate Measuring machine 三坐标测量机