楼主: 天拓咨询
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[咨询文摘] 半导体制造工艺流程及其需要的设备和材料分析 [推广有奖]

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天拓咨询 发表于 2016-6-14 14:55:55 |AI写论文

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    半导体产品的加工过程主要包括晶圆制造(前道,Front-End)和封装(后道,Back-End)测试,随着先进封装技术的渗透,出现介于晶圆制造和封装之间的加工环节,称为中道(Middle-End)。由于半导体产品的加工工序多,所以在制造过程中需要大量的半导体设备和材料。在这里,我们以最为复杂的晶圆制造(前道)和传统封装(后道)工艺为例,说明制造过程的所需要的设备和材料。
    图1:集成电路产业链


    晶圆生产线可以分成7个独立的生产区域:扩散(Thermal Process)、光刻(Photo- lithography)、刻蚀(Etch)、离子注入(Ion Implant)、薄膜生长(Dielectric Deposition)、抛光(CMP)、金属化(Metalization)。这7个主要的生产区和相关步骤以及测量等都是晶圆洁净厂房进行的。在这几个生产区都放臵有若干种半导体设备,满足不同的需要。例如在光刻区,除了光刻机之外,还会有配套的涂胶/显影和测量设备。
    图2:先进封装技术及中道(Middle-End)技术


    传统封装(后道)测试工艺可以大致分为背面减薄、晶圆切割、贴片、引线键合、模塑、电镀、切筋/成型和终测等8个主要步骤。与IC晶圆制造(前道)相比,后道封装相对简单,技术难度较低,对工艺环境、设备和材料的要求远低于晶圆制造。
    表1:传统封装的主要步骤及所需设备和材料


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关键词:工艺流程 半导体 Electric position Process 集成电路 测量设备 半导体 产业链 生产线

沙发
aljkflsakdj 发表于 2020-4-9 13:00:16
为什么看不见图呢

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