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据前瞻产业研究院发布的《集成电路行业市场需求预测与投资战略规划分析报告》数据显示，2008年以前，我国集成电路设备基本依靠进口2009年，我国集成电路设备市场规模仅为9.69亿美元，进口规模和自制规模分别为9亿美元和0.69亿美元，设备自制比例7%(CISA数据，本段以下同)。2010年以来，我国加快设备进口速度，2016年设备进口规模达到36亿美元，是09年的4倍，设备自制率下降为3%，进口依赖严重。
2009-2018年我国集成电路设备市场规模、增长率及自制比例
资料来源：前瞻产业研究院整理
为改善集成电路设备进口以来情况，国家设立了科技重大专项——极大规模集成电路制造设备及成套工艺科技项目(简称02专项)。2011年以来，我国集成电路进口依赖严重的问题开始逐步改善，15种12英寸主要设备通过大生产验证。2012年首次达到12%，到2015年逐步上升至16%。受惠于02专项和国内其他集成电路发展基金，2010年国内集成电路设备市场规模激增283%，达到37.07亿元。
2011年和2012年受到整体经济发展的影响有所下滑，2013年以后恢复增长，2013年到2017年之间的复合增长率高达22.11%，增量主要来自薄膜制造设备、离子注入设备和封装设备。
集成电路芯片关系着信息安全、经济安全、乃至国防安全，是国家发展战略的重中之重，这方面的核心技术不能受制于人，所以从国家战略层面予以重点支持发展。财政部、国家税务总局、国家发改委、工信部近日联合发布《关于集成电路生产企业有关企业所得税政策问题的通知》，规定了集成电路生产企业或项目可享有的税收优惠政策，鼓励企业持续加强研发活动，不断提高研发能力。通知自2018年1月1日起执行。税收政策的扶持有助于国内集成电路国产化率提升。
通知还提出，2018年1月1日后投资新设的集成电路线宽小于65纳米或投资额超过150亿元，且经营期在15年以上的集成电路生产企业或项目，第一年至第五年免征企业所得税，第六年至第十年按照25%的法定税率减半征收企业所得税，并享受至期满为止。
通知指出，2017年12月31日前设立但未获利的集成电路线宽小于0.25微米或投资额超过80亿元，且经营期在15年以上的集成电路生产企业，自获利年度起第一年至第五年免征企业所得税，第六年至第十年按照25%的法定税率减半征收企业所得税，并享受至期满为止。
2017年12月31日前设立但未获利的集成电路线宽小于0.8微米(含)的集成电路生产企业，自获利年度起第一年至第二年免征企业所得税，第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税，并享受至期满为止。
国内半导体的投资热潮在“天时”和“地利”下蓬勃进行。根据前瞻产业研究院报告预测，2017-2020年全球将有62座新的晶圆厂投入运营，其中有26座在中国大陆，根据中国半导体行业协会数据显示，国内晶圆制造新投资产线达20条，总投资额达1255亿美元。
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