台积电备战二代7nm与5nm，重金抢下ASML半数EUV光刻机

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台积电延续7纳米制程领先优势，为顺利在首季启动EUV技术加强版7纳米制程，传荷兰半导体设备大厂ASML的30台EUV设备，已经被台积电抢购18台……

荷兰半导体设备大厂商ASML在财报会议上表示，外媒报导，晶圆代工龙头台积电增加订单，ASML的2019的出货量从18台提高到30台，而台积电将抢下这30台EUV中的18台，超越半数。

台积电延续7纳米制程领先优势，为顺利在首季启动EUV技术加强版7纳米制程，传荷兰半导体设备大厂ASML的30台EUV设备，已经被台积电抢购18台，力拼2代7纳米制程进入量产，除了拉开与强敌三星的实力差距以外，也为今年iPhone新机A13处理器积极备战。

其实，去年三星为拖延台积电推进EUV制程进度，企图买断ASML所生产的EUV设备未能成功。

另据Electronics Weekly引用供应链消息指出，今年ASML将销售30台EUV机台设备，台积电砸重金吃下18台，英特尔、三星等DRAM客户瓜分其余12台，而中芯只有在2018年下单1台。据了解，台积电先进制程进展顺利，7纳米EUV技术加强版制程将在3月底量产，7纳米及7纳米EUV制程，至今年底流片（Tape out）将超过100个，并使7纳米晶圆销售占比从2017年的9%一口气拉高到25%。

此次台积电大吃 EUV 光刻机数量，为的应该是就是加速内含 EUV 技术的 7 纳米加强版制程量产之外，还有就是之后 5 纳米，甚至更先进的制程技术打下基础。

事实上，之前台积电总裁魏哲家在法说会上就曾经表示，2019 年上半年将流片 5 纳米制程，2020 年上半年则将正式量产 5 纳米制程。目前包括苹果A12、华为麒麟980等行动处理器皆採用台积电7纳米制程晶片，但首代7纳米制程采用DUV技术，已经无法满足更先进制程技术需求，因此台积电狂吃18台EUV光刻机数量，除了加速EUV技术7纳米加强版制程量产外，也为往后5纳米制程技术扎根，除拥有多家高阶手机晶片代工肥单外，未来5G及AI主流市场订单也可望到手。

知情人士透露，苹果2019年iPhone新机采用A13处理器，仍由台积电独家供应，并在第2季使用内含EUV技术7纳米加强版制程来量产A13处理器，或许是台积电急于砸大钱抢购EUV设备的关键原因。

文章综合自中时电子报、科技新报报道

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