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新出口管制落地
2023年3月，荷兰ZF的出口限制新规要求ASML需要申请出口许可证才能装运DUV光刻机，主要涉及能生产先进制程芯片的高端DUV光刻机型号的采购，暂不影响2000i之前的型号。
2023年10月，美国商务部工业与安全局（BIS）发布《先进计算芯片更新规则》及 《半导体制造物项更新规则》。这两份规则是BIS针对其于2022年10月7日发布的出口管制规则的修订，在1007规则的基础上全面升级了对华半导体行业的出口管制规则。也就是说该法规禁止向个别先进芯片制造晶圆厂发运特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。
不过，ASML曾向荷兰ZF提出了相关出口许可证申请，后获得荷兰ZF颁发给ASML的截至9月1日所需的许可证，允许ASML在2023年继续发运NXT:2000i以及更先进的NXT:2050i、NXT:2100i等DUV光刻设备。ASML当时对外界称：公司客户也已知悉出口管制条例所带来的限制，即自2024年1月1日起，ASML将基本不会获得向中国客户发运这些设备的出口许可证。
对于禁止出口光刻设备的影响，ASML表示，预计目前出口许可证的撤销或最新的美国出口管制限制不会对2023年的财务前景产生重大影响，该公司全面承诺遵守所有适用的法律法规，包括运营所在国家的出口管制法规。
ASML全球高级副总裁、中国区总裁沈波也曾表示，如果按照今年ASML在中国市场的业务规模估算，2024年预计中国市场业务可能受到10%-15%的影响。但整体而言，ASML判断明年中国市场的需求仍处于旺盛状态，即使考虑地缘政治影响，短期内这对公司总体业务量的影响也会相对有限。
2023年中国进口光刻设备大增在美国收紧光刻设备出口政策之后，中国厂商也感知到了预警，进而在政策落地之前大量进口。
中国海关数据显示，7至11月间，大陆进口的微影设备激增五倍多，达到37亿美元。另有调查显示，2023年7-9月的大陆半导体设备进口额比上年同期增长了90%。
另有相关数据显示，2023年1-11月份，中国大陆向ASML进口的光刻设备金额已经超过了500亿元。加上12月进口金额，业内人士预计2023年全年，中国从ASML购买的光刻机金额可接近或达到600亿元左右。而2022年，中国大陆从ASML进口的光刻机金额仅为21.6亿欧元（171亿元人民币）。
目前，全球光刻机市场基本被ASML、尼康、佳能三大厂商垄断。在出口政策收紧的情况下，三大厂商收益颇丰，特别是ASML。
据悉，2023年9月，中国从荷兰进口光刻机同比增长1036%，且第三季度中国大陆的销售额占ASML整体销售额的比重已达46%。
而根据2023年第三季度财报，数据显示，ASML在中国的销售额有明显的增长，主要原因有两方面：一是发运到中国的设备主要针对成熟制程客户，该季度的大部分出货是基于2022年甚至更早的订单；二是ASML看到其他客户的需求时间节点发生了变化，从而能够向中国客户交付更多设备。因此，中国地区的交付量有所增加，与此同时其他地区在减少，中国市场所占的份额相对出现上升。
对此，ASML表示，“我们所有的设备发运都符合出口管制规定。”
除了ASML，日本的半导体设备也受到中国企业的青睐。日本最大的半导体设备商Tokyo Electron社长河合利树表示：“(大陆的)新客户增加了约20～30家”。Tokyo Electron还表示“已经获得订单，2024年上半年(大陆比例)将继续占到4成左右”。
或影响7nm多重曝光技术路线据悉，目前ASML在售的DUV光刻机中，有四种高端的浸润式光刻机，分别是NXT:2100i、NXT:2050i、NXT:2000i、NXT:1980Di。
其中，NXT:2050i的基本数据是，DUV浸没式光刻机，波长193nm，分辨率≤38nm，NA（孔径）1.35，效率295片/每小时。NXT:2100i是NXT:2050i的后继机型，基本数据相同，但通过与蔡司合作改进了镜头的硬件和软件，从而提高了套刻精度。
这两类光刻机最高都能够实现7nm芯片工艺，尽管实现7nm工艺并不是简单的事情。因此，在美国的压力之下，ASML遵从“管制政策”取消NXT:2100i、NXT:2050i的出口，实际就是美国想断了用DUV光刻机多重曝光生产7nm芯片的路线。
值得关注的是，NXT:2100i、NXT:2050i型号的DUV光刻机整机无法进口的同时，已经购买的DUV光刻机售后维护、零备件的进口，是否会受到影响。即：以前进口的DUV光刻机的售后服务会不会继续？零备件还会不会继续允许进口？
同时，尽管中国开始大幅提升成熟工艺制程的产能，但面对美国的新管制政策，向上突破和进发的压力和挑战将更大。因此，在美国的极限压力之下，中国需坚定走自主自控之路。
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