标准《电子工厂洁净厂房设计规范》

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标准《电子工厂洁净厂房设计规范》
1、电子工厂洁净厂房特点2、章节内容简介3、强制性条文等介绍4、结语
1、电子工厂洁净厂房特点
电子产品生产发展迅猛 IC特征尺寸0.05μm,12〞～16 〞，64G  TFT第六代产品对化学污染物的严格要求大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房投资大、能量消耗大

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关键词：设计规范 电子产品 内容简介 生产发展 强制性