GB_T_38867-2020_电子工业用四氯化硅

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中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
                           犌犅／犜３８８６７—２０２０


         电子工业用四氯化硅
        犛犻犾犻犮狅狀狋犲狋狉犪犮犺犾狅狉犻犱犲犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉狔


２０２００７２１ 发布                        ２０２１０２０１ 实施
         国家市场监督管理总局           发布
         国家标准化管理委员会
                          犌犅／犜３８８６７—２０２０
              前   言
  本标准按照 ＧＢ／Ｔ１．１—２００９ 给出的规则起草 。
  本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ＳＡＣ／ＴＣ２０３）提出并归口 。
  本标准起草单位 ：湖北晶星科技股份有限公司 、湖北省标准化与质量研究院 、洛阳中硅高科技有限
公司 、唐山三孚电子材料有限公司 、湖北光谷标准创新科技有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、浙江
西亚特电子 ...

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关键词：电子工业 四氯化硅 工业用 股份有限公司 科技有限公司