电子科技大学成都学院二零一零至二零一一学年第二学期
集成电路工艺原理 课程考试题 A 卷(120 分钟) 一张 A4 纸开卷 教师:
邓小川
一 二 三 四 五 六 七 八 九 十 总分 评卷教师
1、 名词解释: (7 分)
答:Moore law:芯片上所集成的晶体管的数目,每隔 18 个月翻一番。
特征尺寸:集成电路中半导体器件能够加工的最小尺寸。
Fabless:IC 设计公司,只设计不生产。
SOI:绝缘体上硅。
RTA:快速热退火。
微电子:微型电子电路。
IDM:集成器件制造商。
Chipless:既不生产也不设计芯片,设计 IP 内核,授权给半导体公司使用。
LOCOS:局部氧化工艺。
STI:浅槽隔离工艺。
2、 现在国际上批量生产 IC 所用的最小线宽大致是多少,是何家企业生产?请
举出三个以上在这种工艺中所采用的新技术(与亚微米工艺相比)? (7 分)
答:国际上批量生产 IC 所用的最小线宽是 Intel 公司的 32nm。
在这种工艺中所采用的新技术有:铜互联;Low- ...


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