2022年离子注入设备行业市场分析报告

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2022年离子注入设备行业市场分析报告

   汇报人：XX  汇报时间：XX年X月X日
       目录
       CONTENTS


  市场背景          市场环境分析
1            2

  行业现状分析         行业发展格局趋势
3            4
1  市场背景
 什么是离子注入设备？
离子注入机主要应用于半导体和光伏领域，半导体领域中属于晶圆制造设备，主要用于晶
圆制造流程中的注入（掺杂）工序，主要方式和目的是通过加入少量杂质使得原本导电性
能很差的纯净硅变为一种有用的半导体。通过离子注入机的加速和引导，将需掺杂离子以
离子束形式入射到材料中去，发生一系列理化反应从而优化材料表面性能。离子注入相较
以往的高温热扩散法存在精确控制能量和剂量、均匀性好、纯度高等优点，已基本取代高
温热扩散法成为主流工艺。根据离子束电流和束流能量范围，一般可以把离子注入机分为
低能大束流离子注入机、高能离子注入机和中低束离子注入机，应用存在区别，如高能离
子注入机因电子束能量较高，主要用于深埋层。离子注入机主要用于掺杂工艺。目前从掺
杂工艺技 ...

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