真空退火炉工安全技术操作规程

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真空退火炉工安全技术操作章程
1.先送水源
,检查水源是否畅通
,水压р﹥0.lMPa,
否则不准开炉。
2.合上总电源
,再合上操作电源。
1.开机械泵
,分别打开
1号、2号闸门。
2.合上真空计总电源
,接通热电偶电源
,调整好加热电流
(电流调为
128A)
测量真空度。
电流为22mA
时真空度为
10-1Torr(13.3Pa);
电流为84mA
时真空度为
10-2Torr(1.33Pa);
电流为98mA
时真空度为
10-3Torr(0.133Pa)
；电流为10OmA
时真空度为
10-4Torr(0.0133Pa)
。5.真空度高于
1.33Pa
以后,打开3号真空阀
,使扩散泵内的真空度也达到
1.33Pa
以上。6.扩散泵送电加热
,约40min
以后,泵油加热蒸发
,这时关闭
2号真空阀
,然后再打开高真空阀。
7.真空度高于
0.133Pa
后关闭“热电偶电源
”,打开“电离计电源
”,用电离计测量真空度。
8.把电子电位差计的定针调到要求
的温度值
,把“PID”
调整到规定的比例带和积分、微分时间
(比例带为
40%～150%,
积分时间为
6～2.5 ...

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关键词：安全技术 操作规程 真空度 热电偶 Min