电沉积法制备氧化锌
袁松 周敏 淡猛
摘要 以铜片为衬底, 用硝酸锌水溶液为电解液, 采用阴极恒电流还原制备氧化锌薄膜。通过改变电流密度、电解液浓度、温度、离子掺杂等实验条件, 系统研究了锌氧化物薄膜材料的电化学沉积过程。用X 射线衍射、紫外- 可见透射谱、热重- 差热等技术对沉积物的结构、组成及光学性质进行了表征, 结果表明, 电沉积工艺条件显著影响薄膜材料的结构与组成。当电沉积产物中掺杂铜时, 薄膜材料的光吸收边从375nm 红移到458nm, 带隙能从3. 3eV 降到 2. 7eV, 拓宽了薄膜的吸光范围, 这对ZnO 薄膜在光学方面的应用具有重要意义。 关键词 氧化锌薄膜 电沉积 掺杂 带隙能
1 引 言
氧化锌( ZnO) 是一种性能很好的材料, 在电子、光学、声学及化学等领域都有广泛应用。ZnO 为纤锌矿结构的直接带隙半导体材料, 室温下禁带宽度为3137 eV, 激子结合能高达60 meV, 因此具备了发射蓝光或近紫外光的优越条件。而且, ZnO 可实现p-型或n-型掺杂, 有很高的导电、导热性能, 化学性质稳定, 用它来制备发光器件必然具有高的 ...


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