以下题目出自Montgomery 的实验设计
6.33硅芯片电阻细数受到数个因子的影响
在某关键制程步骤进行2^4 因子实验的结果如下
6.34 假设习题6.33之16次实验与4次中心实验一起进行
4 次中心点的电阻值为 8.15 7.63 8.95 6.48
合并中心点实验资料分析之
Q:6.34的意思是要把这4个值加到原先的16 个一起做分析吗(共20个?)?
这样算是2^K因子分析吗?
附上16笔数据的SAS数据文件
data s633;
do D = -1 to 1 by 2;do C = -1 to 1 by 2;
do B = -1 to 1 by 2;do A = -1 to 1 by 2;
input y @@; output;
end; end; end; end;
datalines;
1.92 11.28 1.09 5.75 2.13 9.53 1.03 5.35 1.6 11.73 1.16 4.68 2.16 9.11 1.12 5.3
;
data s6332;
set s633;
AB=A*B; AC=A*C; AD=A*D; BC=B*C; BD=B*D; CD=C*D; ABC=AB*C; ABD=AB*D;
ACD=AC*D; BCD=BC*D; ABCD=ABC*D;
proc glm data=s6332;
class A B C D AB AC AD BC BD CD ABC ABD ACD BCD ABCD;
model y=A B C D AB AC AD BC BD CD ABC ABD ACD BCD ABCD;
estimate ’A’ A 1 -1; estimate ’AC’ AC 1 -1;
run;