代表着微纳米制造强力手段之一的离子束刻蚀机今天从北京首都机场启程运往沙特,它由中国一家民营科技企业自主设计与制造,这一科技研发综合实力彰显使得中国在世界尖端装备制造领域终于占有一席之地,并有望在助推中国产业升级中缩小与世界高端制造的差距。
采用离子束技术应用设备制造的微纳米器件,多被用于上天入海、高热高寒、复杂电磁环境、强腐蚀性条件等特殊领域。长期以来,离子束应用技术一直被欧美少数几个经济发达国家所垄断,在高等级的离子束技术设备尤其是工艺技术上更对中国严格封锁。
这家民营科技企业是北京埃德万斯离子束技术研究所股份有限公司,始创于上世纪90年代末,一直瞄准世界前沿科研的发展方向,构建了开放的科研运营体系,打造了强大的技术研发团队,在离子束应用工艺技术和设备制造上大有斩获,先后研制出国内首台商用成套离子束刻蚀机、离子束溅射镀膜 ...
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