近日，七星电子（002371）新一批12吋立式氧化炉，顺利交付中芯国际(北京) 28纳米生产线。这是继2015年七星电子12吋立式氧化炉实现销售以来，产品再次应用于国内工艺技术最先进的集成电路生产线，标志着七星电子在热成膜装备技术上达到国际先进水平，具备了为国内集成电路生产线提供配套的能力。

　　资料显示，立式氧化炉是半导体集成电路制造前道工艺中的关键设备，用于在硅片表面热生长具有高质量、稳定的氧化物薄膜，在表面钝化、栅氧或存储器单元结构 ...

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