根据韩国 《朝鲜日报》 的报导,韩国面板大厂LG日前证实,旗下面板工厂已经完成使用国产氟化氢材料以取代日本进口的情况,目前韩国国内对氟化氢的自制率达到 100%。
由于日韩两国之间的贸易纠纷,日本政府自2019年7月初开始,决定禁止3种重要半导体、显示面板材料出口给韩国,迫使韩国相关企业走上独立自主的道路。
而根据韩国 《朝鲜日报》 的报导,韩国面板大厂LG日前证实,旗下面板工厂已经完成使用国产氟化氢材料以取代日本进口的情况,目前韩国国内对氟化氢的自制率达到100%。
事实上,高纯度的工业级氟化氢是特别化学品的一种,在半导体制造制程中主要用于去除化学气相沉积炉内的不必要化学物质,是一种半导体生产中非常重要的原料,日本公司在这个领域占有高比例的市占率。
不过,相较于在半导体制造制程中所使用的高纯度工业级氟化氢,在面板产业中用于面板的蚀刻与洗净制程的氟化氢纯度较低,虽然一直以来韩国厂商也是依赖日本的进口。但是,相对来说生产困难度较低,因此要国产化要相对较为容易。
据业内消息人士称,LG显示最近完成了一家韩国公司提供的高纯度氟化氢的最终测试,并开始在生产线上使用。根据测试报告,自制的氟化氢符合产量和成本要求。据报道,LG显示将韩国氟化氢应用于有机发光二极管(OLED)面板等旗舰面板生产线。
报导指出,就在日本发布出口限制之后,8月份对韩国出口的氟化氢材料就降至0了。但是此举并没有影响三星、SK海力士及LG等韩芯企业的芯片和面板生产。反而这些厂商利用尚有库存3到5个月的时间,积极展开国产替代的计划,如今则是LG宣布在氟化氢方面国产替代成功。
在9月2日,LG就表示已完成对韩国生产的高纯度氟化氢的测试,并开始将其应用于生产过程。这比原先预期提前一个月。
目前LG显示在产品制程中混用日本产与韩国产的氟化氢原料,但是最快在1-2个月内,将全部以韩国产品进行替代。
该公司表示“国产品在制程的验证中已获得通过,现在国产品的出货量是关键所在”,并说明“若能在量的方面获得确保,内部目标是尽早进行氟化氢的100%国产化”。
与使用纳米级工艺的半导体生产线不同,显示板生产不需要纯度为99.9999999999%的超高纯度的氟化氢。氟化氢主要用于湿法蚀刻以去除有缺陷的涂层并清洁和去除显示板表面上的有机物质和氧化物。
报导进一步表示,之前LG替代的主要是气态氟化氢,现在难度更高的液态氟化氢的国产替代也成功了。14日LG旗下的LGD公司表示,面板生产过程使用的液态氟化氢已经于近期全面替换为韩国产品,未来将不再使用日本企业生产的进口产品。
不过,与LG相比,三星、SK 海力士虽然也在积极展开日本材料的替换工作。不过,这两家的主力产品是半导体芯片,对日本制氟化氢,以及另外2种材料,包括光阻剂、氟化聚醯亚胺的依赖性比LG更高。因此,以现阶段的生产能力观察,当前要以韩国产品替换,尚有难度。