发布时间：2015-03-15 来源：人大经济论坛

应用物理学专业论文范文 目 录 中文摘要i 英文摘要ii 目录iii 第一章 绪论 1 1.1 镀膜技术的历史1 1.2 真空镀膜技术以及设备的基本现状1 1.3 真空镀膜的应用前景2 第二章 真空获得 4 2.1 真空的获得方法4 2.1.1 真空度4 2.2 真空泵的分类5 2.2.1 气体传输泵5 2.2.2 气体捕集泵7 2.3 真空泵的性能参数及使用范围7 2.3.1 真空泵的性能参数7 2.3.2 真空泵的使用范围8 2.4 真空泵在真空系统中所承担的工作任务9 2.5 真空泵型号及规格的表示方法10 第三章 真空镀膜11 3.1 薄膜的获得方法11 3.2 真空蒸发镀膜法11 3.2.1 电阻蒸发源蒸镀法11 3.2.2 电子束蒸发源蒸镀法11 3.2.3 高频感应蒸发源蒸镀法12 3.2.4 激光束蒸发源蒸镀法13 3.3 溅射镀膜13 3.4 离子镀膜14 第四章 真空获得与真空镀膜实验16 4.1 设备简介16 4.1.1 仪器的组成16 4.2 仪器结构图及说明16 4.2.1 真空室16 4.2.2 真空系统17 4.2.3 复合真空计17 4.3 真空获得与真空镀膜实验18 4.3.1 实验前准备18 4.3.2 真空室抽真空18 4.3.3 蒸镀铝膜19 4.4 注意事项21 第五章 结论22 致谢24 参考文献25 摘 要 通过对真空获得与真空镀膜的理论学习与实验研究，了解了真空与真空镀膜的发展历程、应用现状、以及它们在各个领域的前景。本文介绍了真空获得与真空镀膜的各方面知识、一般的真空获得方法和常用的镀膜方法、以及各自的优缺点。实验过程采用DH2010多功能真空实验仪，在获得一定真空度的真空环境后，用蒸发镀膜的方法在载玻片表面镀上匀质铝膜。本课题的学习研究，是对我大学四年理论与实践方面所学知识的一个概括与总结，使我在专业知识层面又获得了一次大大的提升。 关键词：真空 真空镀膜 镀膜 Abstract Vacuum and vacuum coating have been studied experimentally and theoretically. We have understood the development of the vacuum and vacuum coating process, application status, and their prospects in all fields by means of this work. This paper we describes some aspects of the vacumm and vacuum coating and introduces general method of vacuum and vacuum coating .Based on multi-function vacuum experimental apparatus DH2010, we have obtained glass slides coated with aluminum under a certain degree of vacuum in the vacuum environment by using vapor deposition. The subject of study is account of a general and summary of what I have learned about the theory and practice knowledge in college. Key words: Vacuum Vacuum Coating Coating