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微尺度观测仪的物理原理及应用_电子机电论文范文

微尺度观测仪的物理原理及应用_电子机电论文范文

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电子机电论文范文微尺度观测仪(AFM)原理及应用目录摘要IIIABSTRACTIV第1章:显微技术和纳米科技简述11.1.显微镜的发展情况11.2扫描探针显微镜的发展概况21.3我国的扫描探针显微镜的发展情况41.4纳米科技概述51.5微 ...
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电子机电论文范文

微尺度观测仪(AFM)原理及应用
目 录
摘要III
ABSTRACTIV
第1章:显微技术和纳米科技简述1
1.1.显微镜的发展情况1
1.2扫描探针显微镜的发展概况2
1.3我国的扫描探针显微镜的发展情况4
1.4纳米科技概述5
1.5微纳米加工技术介绍7
第2章:扫描探针显微镜9
2.1扫描隧道显微镜9
2.2原子力显微镜11
2.3扫描进场光学显微镜15
2.4扫描探针显微术的应用17
第3章:AFM的结构、物理原理19
3.1AFM结构和性能指标19
3.1.1整机系统构造19
3.1.2整机技术指标19
3.2镜体20
3.2.1镜体设计的技术要求20
3.2.2镜体结构设计21
3.3配合镜体工作的进给系统23
3.4振动隔绝系统25
3.5扫描与数据采集系统26
3.6扫描系统26
3.7数据采集系统29
3.8计算机工作站32
3.9AFM.IPC-208B型机32
3.9.1AFM.IPC-208B型机的特点32
3.9.2AFM.IPC-208B型机的工作环境要求33
第4章 AFM原子力显微镜的主要应用领域35
4.1在表面微观结构分析领域中的应用35
4.2在微机械加工领域中的应用35
4.3在力测量领域中的应用37
总 结38
参考文献39
致 谢40

摘要
1982年,第一台扫描隧道显微镜(STM)的问世,使得人类首次能够实时地观察单个原子在物质表面的排列状态。但由于其只能用来直接观察和研究导体和半导体样品的表面,存在很大的局限性,原子力显微镜(AFM)应运而生。经过十几年的技术改进,凭借其纳米量级的精度和不受样品表面导电性限制的优势奠定了它作为一种独立的表面分析仪器的地位,其应用随着纳米科技热的兴起而日益引起人们的重视,仪器本身的稳定性、图像质量、操作的简便性以及应用领域的拓展和产业化也越来越受到关注。
本次论文工作首先回顾了显微镜(Microscopy)的发展历程,对原子力显微镜的工作原理进行了理论上的探讨,并针对重庆大学研制的AFM.IPC-208B型机进行了整机系统的深入了解,对在研制和应用过程中碰到的问题,提出了相应的改进方案,并进行了初步的实验研究,积累了应用经验。,
关键词:显微镜,微尺度,原子力显微镜,探针,

Inheritance Algorithmic Parameter Analysis
ABSTRACT
The appearing of the first STM in 1982 makes human being be able to observe thearran gement of a single atom on the material's surface ,however ,it has a lot of limitations that it is only used to observe and research on the surface of conductor and semiconductor,so the AFM had been come out. With the rapid progress in technology during the past more than ten years, AFM establishes its status as a kind of surface analyzed apparatus depending on nanometer-level resolution and unlimited conduction of samples ,and its application also attracts more and more attention with the improving of nano-technique. Because of its stabilization, convenient, the excellent quality of the picture, people concern more about its application area and industrialization.
The paper firstly introduces the development of Micoscopy,and the foundational principles of AFM, and then, make a good expatiate of the whole system of the AFM.IPC-208B developed by Chongqing University. It has brought some suggestions to the problems in development and experiment. Becase the probe plays an important role in experiment.
Keywords: Microscope,Atomic Force Microscope(AFM),lens body,probe Microscale

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